特點 features
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低壓損 Low pressure drop
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高效率 High efficiency
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重量輕 light weight
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厚度薄 Thin in depth
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運行成本低 Low operation cost
用途 uses
超LSI制造工場、半導體制造工場、原子力研究中心、無塵室、層流設備、工作臺等其它要求超高潔凈度的場合。
Manufacturing lines for ULSI, manufacturing plants for semiconductors of 16M and above、cleanrooms、clean bench、clean booth, ect..
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